简介 中图仪器-激光干涉仪-型号SJ6000广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、*高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析

中图仪器SJ6000激光干涉仪

一、激光干涉仪概述

SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、*高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有高精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。

二、产品功能特点

(1)精度高

SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。

采用激光双纵模热稳频技术。可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；

采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；

干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

(2)功能广

1. 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

2. 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

3. 可实现对机床回转轴的测量与校准；

4. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

5. 具有动态测量与分析功能，含位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨动态特性分析、驱动系统响应特性分析等；

6. 支持手动或自动进行环境补偿。

(3)软件强

1. 友好的人机界面；

2. 丰富的应用功能模块；

3. 向导式的操作流程；

4. 简洁化的记录管理；

5. 支持中文、英文和俄文界面；

6. 支持企业专属模板定制。

(4)标准多

内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

• GB/T 17421.2-2000 中国国家标准

• GB 10931-1989 中国国家标准

• ISO 230-2-1997 1997版国际标准

• ISO 230-2-2006 2006版国际标准

• ISO 230-2-2014 2014版国际标准

• ASME B5.54-2005 美国国家标准

• ASME B89.1.12M-1990 美国机械工程师协会标准

• NMTBA-1997 美国机床协会标准

• BS 3800-2-1991 英国机床标准

• BS 4656-16-1985 英国机床标准

• JIS B6330 日本国家标准

• VDI 3441 德国机床标准

• JJG 117-2005 平板检定规程

(5)技术指标

主机

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：≤ 6分钟

工作温度范围：(0~40)℃

存储温度范围：(-20~70)℃

环境湿度：(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH

大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

线性测量

测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度：0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力：1nm

测量速度：4m/s

角度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±10°

测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M测距离，单位：m)

测量分辨力：0.01″

平面度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±1.5mm

测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R显示值，单位：μm；M距离，单位：m)

基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm

自动精密转台

型号：WR50

角度测量范围：(0~360)°

测量精度：±1″

分辨力：0.01″

转速：＜5°时轴旋转无限制；＞5°时轴旋转10rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直径：112mm

通信方式：蓝牙传输

供电方式：锂电池

正交触发盒

信号输入：差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号

输出形式：10μs脉冲

触发延时：0.1μs

供电电源：12VDC

尺寸重量与供电

便携箱尺寸：613mm×460mm×230mm

标准配置重量：18kg

供电电源：(100~240)VAC

安全要求

激光的安全等级达到Class I要求

(6)配件与证书

注意事项：

1. 平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组

2. 平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可

3. 短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组

4. 长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组

5. 直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

(7)证书

(8)激光干涉仪维护说明

1. 仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座以防导轨变形。 　

2. 光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和混合液轻拭。

3. 传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。

4. 使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。

5. 导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。

6. 经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。